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卓上型酸化物単結晶育成装置
TCR-3（抵抗加熱式）
/ TCH-3（誘導加熱式）
■特長
１．研究室及び学生実験向け小型単結晶育成装置（CZ法）です。
２．抵抗加熱式、誘導加熱式を選択できます。
３．加熱調節計には自動昇降温機能を搭載。
４．コンパクト設計により操作性が向上。省エネ型でもあります。
５．オプションの使用により以下の育成実験が可能です。
・TSSG法（キロポーラス法）
・BM法（ルツボ吊り下げ方式）
・LPE法（ディッピング法）
製品仕様表
| 型式・名称 |
TCR-3 |
TCH-3 |
| 加熱方式 |
抵抗加熱(金属ヒータ) |
誘導加熱(高周波発振機) |
| 加熱温度 |
1200℃ |
1800℃ |
| ルツボサイズ |
ø 30(OD) ×30(H)mm |
| 炉心管サイズ |
ø 61(ID) ×450(H)mm |
| 引上ストローク |
350mm |
| 移動速度 |
1〜10mm/h |
| 回転速度 |
3〜30rpm |
| 炉内雰囲気 |
Ar 又はN2 |
| 設備電源容量 |
1ø AC200V 4KVA 20A |
1ø AC200V 6KVA 30A |
| 外形サイズ(mm) |
W700×D500×H1125 |
W750×D650×H1950 |
| オプション |
ロードセル(20N用) |
* 高周波発振機の標準は3KWです。5KWまで搭載が可能です。
* 特殊仕様品製作を承ります。 |
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