上部確認窓から見たルツボ内部 |
シリコン単結晶引き上げ装置
形式：TCR-5C／TCR-15C
■ 特徴
1. 実験・研究用の小型シリコン単結晶育成装置(CZ法)です。
2. ステンレス製缶体内は,アルゴンガス雰囲気を制御します。
3. 発熱体はカーボンヒーターによる、抵抗加熱式です。
4. 炉内の温度制御は熱電対制御方式です。
■ 構成
1. 単結晶引き上げ炉
2. 制御盤
3. 手元装置ボックス
4. 電源ボックス
■ 主な仕様
| 型式名称 |
TCR-5C |
TCR-15C |
| ルツボ寸法 |
φ3in, × 3in, |
φ6in, × 6in, |
| 試料チャージ量 |
350g |
2500g |
| 加熱方式 |
抵抗加熱式（カーボンヒーター） |
| 引上げ軸ストローク |
500mm |
1200mm |
| 引上軸移動速度 |
0.5〜3 mm/分 |
| 引上軸回転速度 |
2.0〜20 rpm |
| ルツボ軸ストローク |
100mm |
| ルツボ軸移動速度 |
0.1〜1 mm/分 |
| ルツボ軸回転速度 |
1〜8 rpm |
| 缶体サイズ |
φ350×L500mm |
φ400×L600mm |
| 設備電源容量 |
25 kVA |
45kVA |
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