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酸化物単結晶引き上げ装置
TCR-5（抵抗加熱式）
■特長
主に研究用として開発。フロアースペースを最小にし、設置のコストを極限まで押さえ、その上で結晶育成に十分な能力を確保します。
※この他に、ルツボ寸法 max 200X200mm に対応可能な抵抗加熱式及び高周波加熱式の機材も用意しております
| 形式 |
TCR-5 |
| ルツボ寸法(mm) |
外径50×高さ50 |
| 加熱方法 |
3ゾーン抵抗加熱(カンタルAPM) |
| 炉内温度 |
常用最高1200℃ |
| 炉口径(mm) |
115 |
| 設備電源容量 |
7KVA |
| 引き上げ軸移動速度 |
0.1〜5mm/h |
| 引き上げ軸早送速度 |
約300mm/min |
| 引き上げ軸回転速度 |
1〜60rpm |
| 炉体外形寸法(mm) |
W1100×D600×H1845 |
| 装置総重量 |
2.5kN |
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