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酸化物単結晶引き上げ装置
TCR-10（抵抗加熱式）
■特長
酸化物系、フッ化物の結晶育成の研究用及び小規模生産用仕様です。加熱源は高周波誘導加熱方式に改造も可能です。シンプルな構造に最新のメカトロニクスが盛り込まれております。ＡＤＣシステムパソコン指令にも対応可能。
| 形式 |
TCR-10 |
| ルツボ寸法(mm) |
外径100×高さ100 |
| 加熱方法 |
3ゾーン抵抗加熱(カンタルAPM) |
| 炉内温度 |
常用最高1200℃ |
| 炉口径(mm) |
165 |
| 設備電源容量 |
13KVA |
| 引き上げ軸移動速度 |
0.1〜10mm/h |
| 引き上げ軸早送速度 |
約300mm/min |
| 引き上げ軸回転速度 |
1〜60rpm |
| 炉体外形寸法(mm) |
W975×D700×H2450 |
| 装置総重量 |
5kN |
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