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製品紹介

製品写真

製品写真 		酸化物単結晶引き上げ装置
TCH-20

■特長
  • 前面扉式水冷ジャケットチャンバー方式により作業性が向上（特許出願中）
  • 装置重量の軽量化と性能向上をポイントに装置設計の徹底
  • 使いやすい装置作りへのたゆまぬ改良

    •
  • 特殊仕様製品の製作にも積極的に対応します

製品仕様表

型式名称
CZ
EFG
加熱温度
2100℃
ルツボサイズ
(OD)150×(H)150×(t)2.5mm(lr)
引上げ軸ストローク
700mm(max.)
900mm(max.)
引上げ軸移動速度
0.2〜10mm/h
引上げ軸回転速度
60rpm
none
引上げ軸回転角度
none
±15°
引上げ軸X-Y移動ストローク
none
±15°
RFコイル移動ストローク
100mm
ロードセル測定重量
20N , 50N , 100N
RF発信機出力
50KW

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