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製品紹介

酸化物単結晶引上装置
TCH-05 
(小型、少量結晶育成用)
特長
1 . 精密温度制御が可能です(0.05%FS)
2 . 装置の操作性を簡易化しています

オプション
1. 前面扉式水冷ジャケットチャンバー方式も承ります。(PAT. Pend.)
2. 付属機器、システムが豊富です。
  (ADCシステム、データーロガ、ロードセル、バックアップ電源、加圧型、ルツボ軸回転等)
 
製品仕様表
加熱温度 2200℃(Nor.) 2300℃(Max.)
ルツボサイズ ODφ50〜φ75mm
引き上げ軸移動量 600mm
引き上げ軸回転数 1〜100rpm
ルツボ軸移動量 150mm
高周波電源 30kw/30KHz



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