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製品紹介

テトラアーク式溶解炉
TCA4-6



特長

テトラアーク式による安定した溶解結晶育成が可能
アーク電流の精密制御と精密駆動制御 (特許 第3857098)
クリーンな高真空用に溶接ベローの採用
小型、省スペース設計で、清掃が容易
 (単アーク式溶解炉も製作致します)

製品仕様表
型式名称 テトラアーク式溶解炉
TCA4-6
水冷ルツボ・溶解用 φ60(OD)×32(H)mm
水冷ルツボ・ゲッター用 φ30(OD)×25(H)mm
加熱温度 3000℃近傍
使用圧力 4〜7×10(3) Pa
到達真空 10(-6) Pa
引き上げ軸移動速度 2〜20mm/hr
引き上げ軸回転速度 2〜20rpm
ルツボ軸回転速度 1〜10rpm
電源 φ3 :AC200V/20kVA
φ1 :AC100V/2kVA

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