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製品紹介
※写真はオプション装着時です
トリアーク式
単結晶育成装置
TCA3-6
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特長
・トリアーク式で低コスト化が実現
・パイレックスチャンバーで観察が容易
・チャンバー上昇で試料の出し入れが容易
・小型、省スペース設計で設置が容易
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オプション
・SUS製チャンバー
・真空排気装置
・試料反転機構
製品仕様表
型式名称
トリアーク式単結晶育成装置
TCA3-6
加熱温度
約3000℃
水冷ルツボ・溶解,育成用
φ60(OD)mm
水冷ルツボ・ゲッター用（※）
φ30(OD)mm
ルツボ軸回転速度
1〜10rpm
ルツボ軸ストローク
50mm(手動)
引き上げ軸回転速度
2〜20rpm
引き上げ軸移動速度
2〜20mm/hr
引き上げ軸早送速度
200mm/min
引き上げ軸ストローク
200mm
到達真空度（※）
10
(-4)
Pa
※機器はオプションです。
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株式会社テクノサーチ
http://www.techno-search.co.jp/
