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縦型ブリッジマン法 単結晶育成装置 (Vertical Bridgman) TBR-30(炉体・制御一体型) ■特長 ・温度分布を精密制御します。 ・ルツボ移動の精密制御します。 ・コンパクト設計で省スペース設置 |
型式名称 | 縦型ブリッジマン法単結晶育成装置 TBR-30 |
ルツボサイズ | φ10〜30mm×L100mm |
加熱温度 | 高温部1200℃(Max),低温部1000℃(Max) |
制御精度 | ±0.5'C(検出端) |
加熱方法 | 抵抗加熱(カンタル線) |
ルツボ移動 | 速度0.5〜50mm/h,ストローク約500mm |
ルツボ底温度モニター | 熱電対による |
外形寸法 | 1000(W)×600(D)×1750mm(H) |