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縦型ブリッジマン法単結晶育成装置
TBR-3（炉体・制御一体型）
■特長
１．温度勾配を精密制御します。
２．ルツボ移動を精密制御します。
３．コンパクト設計で省スペース。
製品仕様表
| 型式名称 |
縦型ブリッジマン法単結晶育成装置
TBR-3 |
| ルツボサイズ |
ø10〜30mm×(L)100mm |
| 加熱温度 |
高温部 1200℃(Max.)
低温部 1000℃(Max.) |
| 制御精度 |
±0.5℃（検出端） |
| 加熱方法 |
抵抗加熱（カンタル線） |
| ルツボ移動 |
速度 0.5〜5.0mm/h ±1%FS
ストローク 約500mm |
| ルツボ底温度モニター |
熱電対による |
| 外形寸法 |
1000(W)×600(D)×2030mm(H) |
| 電源 |
ø1 AC-200V 2KVA 10A
ø1 AC-100V 1KVA 10A |
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