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磁気シールユニット
EP10-MS


特長

このユニットは磁気シール部とステンレスベローズの組み合わせで構成されております。結晶育成炉の各軸受け部、回転部のシール、特にクリーンな高真空仕様(X10-7torr台=X10-5pa)の軸シールには最適です。



用途

CZ炉上下軸駆動部シール
BM炉上下軸駆動部シール
FZ炉上下軸駆動部シール
各種アーク炉上下軸シール

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