TOR-14
高温熱処理炉とは　るつぼ（ルツボ：坩堝）等の炉内構成部品や、ウェハー・チップアニール等資材のベーキング及び、清浄化や、SiC育成用るつぼによる　試料の焼成、溶解を可能とする装置です。
この装置は国立大学の研究用として開発・製造し納入させて頂きました。

開発コンセプトは、お客様の要求を満たし、環境にやさしい省エネ装置完成に注力しました。

■省スペース
チャンバー蓋の開閉は　上下に加え、横振り構造を手動化する構造を採用し、安全な作業性は確保しつつ、装置の小型化を実現しました。

■省電力、省冷却水
炉内加熱は高周波加熱方式ではなく、カーボンヒータ方式を採用することで省電力、省冷却水化を実現でき、初期コストに加え、運用コストを抑制する事ができました。

重要な炉内仕様も　真空及び不活性ガス雰囲気中で2000℃の高温仕様を達成し、試料の着脱は安全で且つ容易な作業性を考慮し、電動昇降機構を採用しました。

上記仕様決定に至るまで、お客様が納得頂けるまで何度も打合せを儲け最終仕様を決定し製造しております。
今回ご紹介している高温熱処理炉の仕様以外にも、オプション追加を含め長年の実績に基づく提案力と開発ノウハウがある株式会社テクノサーチは、お客様のご要望に合わせたオーダーメイドを承っております。
お気軽にお問合せ下さい。

高温熱処理炉　TOR-14

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